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等離子體表面處理儀的特點(diǎn)介紹

更新時間:2022-09-22      點(diǎn)擊次數(shù):1113
等離子體表面處理儀可用于消除固體表面的有機(jī)污染物,如:金屬、陶瓷、玻璃、硅片等等,同時也可以對樣品表面進(jìn)行處理,改善樣品表面的特性,如親水/疏水特性,表面自由能,以及表面的吸附/粘附特性等等。  
主要特點(diǎn):  
(1)采用電容耦合電極設(shè)計(USPatent.4,887,005/5,190,703/5,228963/5,468,560/5,733,511),低失真、高效率的特性,保證了樣品室內(nèi)等離子體分布的均一性;  
(2)采用自動調(diào)頻高頻發(fā)生器,保證了等離子體發(fā)生的穩(wěn)定性和有效性;  
(3)采用高精度的流速控制和壓力控制部件,保證了氣體的高重現(xiàn)性混合和分布;  
(4)采用軟件控制,確??刂频姆奖阌行Ш蛯?shí)時監(jiān)控;  
(5)一體化的高真空系統(tǒng),確保了操作的方便性和穩(wěn)定性;  
(6)多種樣品室可供選擇,如耐熱玻璃和石英等,更能滿足廣大客戶的需求多;  
(7)體積小,可遠(yuǎn)程操作,多種安全保護(hù),保證操作的安全和方便;  
(8)樣品室和功率設(shè)計合理,可滿足絕大部分科研需要;  
(9)全自動操作,方便可靠。
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